안녕하세요
삼성전자 설비기술연구소 박진석입니다.
CMP 설비에 사용되는 rotary union에 문의하고 싶어 연락을 드립니다.
저희가 찾아본 바로는 Nippon Pillar사에서 공급한 PSJAT-SMN03를 CMP설비에 사용하는 것으로 확인하였습니다.
그래서 추후 설비개발 및 적용을 위해 PSJAT-SMN03의 catalog를 받을 수 있을까요?
그리고 현재 CMP용 rotary union이 몇 port까지 개발되어 있는지 현황 및 대략적 spec을 알고 싶습니다.
궁금한 점 있으시면 010-8223-8132 및 이메일로 연락부탁드립니다.
감사합니다.