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Nippon Pillar rotary union 문의합니다

작성자박진석

작성일2022-08-18

조회수23,316

안녕하세요

삼성전자 설비기술연구소 박진석입니다.

CMP 설비에 사용되는 rotary union에 문의하고 싶어 연락을 드립니다.

저희가 찾아본 바로는 Nippon Pillar사에서 공급한 PSJAT-SMN03를 CMP설비에 사용하는 것으로 확인하였습니다.

그래서 추후 설비개발 및 적용을 위해 PSJAT-SMN03의 catalog를 받을 수 있을까요?

그리고 현재 CMP용 rotary union이 몇 port까지 개발되어 있는지 현황 및 대략적 spec을 알고 싶습니다. 

궁금한 점 있으시면 010-8223-8132 및 이메일로 연락부탁드립니다.

감사합니다. 

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